公示号：2022092603ZX01

我院“柔性电子器件后屈曲结构动力学研究”项目，项目负责人：李宇航，项目编号：KYZ1121003，起止时间：2021年1月-2023年12月。根据项目实际需要，拟就“磁控靶加工”任务进行外协，现对此外协任务进行公示。

1.外协任务情况

任务名称：磁控靶加工

具体内容：按研制技术要求，完成对磁控靶材加工的研制以达到正常溅射工作对靶材表面磁场大小的要求。

外协任务围绕的研究方向及具体科研任务：外协任务的方向为将磁性靶材的厚度减薄、对磁性靶材进行表面刻槽、镀膜、调试与测试分析；具体任务是出具磁控靶加工的可行性技术方案与报告，确定加工方法，完成磁控靶加工后的测试与影响分析研究。

外协任务对研究院科研工作的重要性：磁控溅射磁性靶材服务于先进飞行器与空天动力技术创新研究中心的半导体领域研究及电子控制器件的需求，是重要的科研支撑设备。该外协任务服务于柔性电子器件后屈曲结构动力学研究，对保障电子器件的磁导率具有重要作用。

成果形式：样品

金额：壹万元整(大写）10000元（小写）

2.拟外协合作单位情况

注册名称：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

经营范围：产品研发、生产加工、技术服务

有关联关系的公司及个人：无

3.选择该外协合作单位的原因：磁控溅射磁性靶材加工将对我院开展半导体领域及电子控制器件的研究起重要科研支撑，根据我院科研需求，需要靶材的纯度高、杂质低、溅射薄膜性能优越、致密性高、均匀性好，且加工表面具有较好的平整度和粗糙度，同时保证不能有过大的凸起。我院暂无类似磁控靶加工经验，无法满足该项目研制要求，故需要委外进行。

经调研，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司专注于高真空、超高真空、超洁净真空技术的研究和发展，是我国集成电路装备和真空仪器设备的研制、生产基地，先后组建“国家分子束外延技术试验基地”、“国家真空仪器装置工程技术研究中心”和“真空技术装备国家工程实验室”等科研平台，具备磁控靶加工的成熟技术和丰富经验，满足我院科研需求，且该家单位技术服务报价合理，故拟委托该企业作为外协合作单位进行研制。

公示期：2022年9月26日—2022年10月3日。

公示期间对公示内容有异议的，请以书面形式署名向研究院科研部反映情况，反映情况要实事求是，以便调查核实。联系方式如下：

受理地址：北航宁波创新研究院科研部

受理电话：0574-86001561

电子邮箱：buaazhaoqi@buaa.edu.cn

                                                                                                     北航宁波创新研究院科研部

                                                                                                             2022年09月26日