公示号：2022092303ZX01

我院“多功能集成感知电子皮肤的研发与应用”项目，项目负责人：李宇航，项目编号：KYZ022001-11，起止时间：2022年1月-2023年12月。根据项目实际需要，拟就“样品台加工”任务进行外协，现对此外协任务进行公示。

1.外协任务情况

任务名称：样品台加工

具体内容：按研制技术要求，完成对样品台材加工，并满足自转、高温抗氧化等多项功能要求。

外协任务围绕的研究方向及具体科研任务：外协任务的方向为加工制备具有自转、升降、加热等多模块样品台，并适用于磁控溅射、衬底退火、高温除气等需求；具体任务是出具样品台加工的可行性技术方案与报告，确定加工制备工艺，完成多功能样品台加工后的测试与影响分析研究。

外协任务对研究院科研工作的重要性：多功能样品台服务于先进飞行器与空天动力技术创新研究中心的航空航天、微电子等多领域的研究需求，是重要的科研支撑设备。该外协任务服务于多功能集成感知电子皮肤的研发与应用，对提高整个失效分析流程的成功率和效率，避免和减少样品在失效分析工作中的破损，丢失和污染具有重要作用。该设备具有重要的应用研究价值，将显著提升科研院的国内外影响力，形成吸引、凝聚和培养科研人才的重要途经。

成果形式：样品

金额：贰万元整(大写）20000元（小写）

2.拟外协合作单位情况

注册名称：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

经营范围：产品研发、生产加工、技术服务

有关联关系的公司及个人：无

3.选择该外协合作单位的原因：样品台加工对我院开展航空航天、微电子等多领域研究起重要科研支撑,根据项目科研需求，样品台加工需要具有自转耦合模块、升降模块、加热器模块、样品托模块等多模块功能且易于操作、方便样品清洗的多功能样品台设备，我院现没有相关样品台加工设备及经验，无法满足该项目研制要求，故需要进行外协加工。

经调研，中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司生产的多功能样品台,采用先进的设计工艺、模块化设计思路，通过不同的模块组合，实现自转、升降差动、高温抗氧化等功能。适用于各种先进的薄膜生长和沉积技术，包括MBE、PLD、磁控溅射和EB等，也可用于衬底退火、高温除气和材料改性。该公司具备样品台加工的成熟技术和丰富经验，满足我院科研需求，且技术服务报价合理，故拟委托该企业作为外协合作单位进行研制。

公示期：2022年9月23日—2022年9月30日。

公示期间对公示内容有异议的，请以书面形式署名向研究院科研部反映情况，反映情况要实事求是，以便调查核实。联系方式如下：

受理地址：北航宁波创新研究院科研部

受理电话：0574-86001561

电子邮箱：buaazhaoqi@buaa.edu.cn

                                                                                                     北航宁波创新研究院科研部

                                                                                                             2022年09月23日